電子束／聚焦離子束雙束系統應用介紹

陳俊淇 ； 謝健 ； 林俊宏

《國家奈米元件實驗室奈米通訊》 15卷3期 (2008/09) Pp. 10-14

https://doi.org/10.29913/NDLC.200809.0004

摘要

電子束／聚焦離子束雙束系統是一種在製造奈米結構上越來越受重視的技術，此技術包含了兩類製程方式－移除材料（切割、離子輔助蝕刻）和添加材料（佈植、電子／離子輔助沉積）等，這些製程方式的應用將在本文中介紹。本文首先會在前言說明奈米製造應用中聚焦離子束系統的長處與重要性，簡介雙束系統的機台與原理，並介紹目前NDL建置的FEI公司NOVA 600雙束系統之製程能力，接著將依續文獻回顧和介紹各種製程方法的原理與特定技術在結構下的應用，最後，對於離子束系統此項技術未來可能的發展方向與改進方式做總結。

關鍵字

聚集離子束 ； 奈米製造 ； 奈米結構 ； 直寫圖形定義