以溶膠－凝膠法製備氧化鋅薄膜之紫外光特性研究

李建蒼 ； 李茂順 ； 陳英忠 ； 謝伯宗

《工程科技與教育學刊》 2卷3期 (2005/09) Pp. 369-375

https://doi.org/10.6451/JETE.200509.0369

摘要

利用溶膠－凝膠法來製備氧化鋅薄膜並且在不同熱處理溫度觀察其結構與發光特性。使用X光繞射分析探討不同熱處理溫度下薄膜的結晶性，掃描式電子顯微鏡用來觀察表面形態與晶粒大小，光致發光光譜儀量測薄膜的發光特性。