摘要
本文探討電熱式微致動器驅動微夾爪之製作與分析，研究中以微射出成形的技術來改良微夾爪製作方式，使成形品快速且可大量生產。射出成形的部份先行以CAE模擬與田口品質規劃法得到最佳降低翹曲量品質參數，並探討射出成形參數的交互作用影響。進行微射出成形實作部份，以模擬結果與實作比較成形參數影響並探討其差異性。驅動元件分析部分，設計組合式微致動器，以材料熱變形理論與有限元素分析對組合式微致動器進行分析模擬，並探討在不同驅動條件下對於輸出性能的影響。 射出模仁與組合式電熱式驅動元件的製程方面是使用LIGA-Like製程與SU-8厚膜光阻來完成微夾爪與微致動器的模仁製作，再以微電鑄翻模方式，完成微致動器之結構。最後將兩微元件組合並量測其驅動位移，結果顯示當電壓輸入0.1~3V時，微致動器電極端經受電熱變形產生推力位移，驅動微夾爪之位移量達13.2μm。
延伸閱讀
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