摘要
本文主旨在於建立工具機之靜態空間定位誤差量測與動態循圓量測機制。空間定位誤差量測乃藉由金屬中心－精微模具與成形共用實驗室之Agie-Charmilles微細線切割機台進行實際量測驗證，並以德國規範VDI3441作爲精度評估標準，包含反向誤差(reversal error, U)、定位不確定度(positional uncertainly, P)、定位散佈度(positional scatter, Ps)與位置偏差(positional deviation, Pa)；動態循圓量測則在三軸微細雕刻工具機上，探討不同進給速度對運動精度結果之影響，最後透過專業軟體Polarcheck分析機台主要動態誤差來源，包括背隙(backlash)、軸轉向凸波(axis spike)、伺服追隨誤差(servo mismatch)、真直度誤差(squareness error)、黏滯滑動運動誤差(stick slip)及振動(vibration)等。透過本研究之分析，可掌握工具機的靜態與動態特性，有助於未來工具機台誤差補償模式的建立與發展。
被引用紀錄
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延伸閱讀
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