摘要
因應TFT-LCD朝向大尺吋產品發展及解析度之提升，其元件結構以銅製程取代鋁靶材作為導線之材料來克服大尺吋、高解析、高精細所產生之訊號延遲現象；高導電性銅蝕刻製程是TFT-LCD產業界發展之方向。 銅製程產品線於TFT-LCD製程是剛起步之階段，依據職業安 全衛生法第五條第一項第二款規定，新製程、設備導入應於規劃階段實施風險評估，進而探討整體設備安全。銅製程之製程風險為濕蝕刻製程化學品中填加過氧化氫（H2O2），過氧化氫是一種氧化劑，因此對於銅製程及機台設備的安全設計是一項需要探討之研究主題。 本研究以7.5代廠濕蝕刻設備作為導入銅製程之評估載具，主 要探討過氧化物製程風險特性，探討機械設備安全設計，及風險評估等策略，經由PHA初步危害分析及HAZOP危害及可操作性 分析兩項風險評估工具，檢討出製程安全上之弱點及安全設計改善方案
延伸閱讀
- 尤志偉（2008）。TFT-LCD蝕刻液濃度計之設計原理探討〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200800439
- 黃鈺凱（2007）。應用機器視覺於TFT-LCD陣列電路工程中瑕疵辨識之研究-接觸孔洞光罩瑕疵自動分類〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200700434
- 蔡明豐（2010）。承商進廠作業安全管理機制探討－以某TFT-LCD廠為例。工業安全衛生，(255)，11-26。https://doi.org/10.6311/ISHM.201009_(255).0002
- 楊文忠（2010）。應用本質較安全策略探討機械安全連鎖裝置較佳化設計之研究–以某TFT-LCD廠為例〔碩士論文，國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2010.01094
- 彭明學、張翼（2011）。TFT-LCD（薄膜電晶體液晶顯示器）設備機台危害風險評估與改善。工業安全衛生，(259)，31-40。https://doi.org/10.6311/ISHM.201101_(259).0003