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  • 期刊

低驅動電壓之微機電式數位類比轉換機構及其在光學量測系統之應用

摘要


本研究發展了一個低驅動電壓的微機電式數位/類比轉換裝置(M-DAC),整合在微鏡面平台上並應用於白光干涉儀系統中。為減少機構的剛性以及達到較佳的微鏡片結構平坦度,利用parylene-C做為M-DAC機構的支撐彈簧及單晶矽來製作微鏡面與制動器結構。此機構包含奈米尺寸步進的微反射鏡,並可安裝於白光干涉儀系統中。這個機構的驅動電壓大約是10,小於一般M-DAC一半的驅動電壓。利用M-DAC整合白光干涉儀可應用於非接觸式的光學式表面輪廓量測系統。

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