摘要
本研究以CMOS-MEMS平台建置一兼具電路與機械耦合能力之微機械濾波器。相較於本團隊先前所提出之機械耦合以及傳統MEMS之電路耦合式（parallel-class）濾波器，此元件以後段製程（BEOL）中的二氧化矽為結構主體(Oxide-rich)使濾波元件可同時具備靈活的電路佈線（Electrical Routing）與非導電性之機械耦合樑（Mechanical Coupler）。藉由上述特性，我們可進一步實現單端轉差動（Common-mode to Differential, CIDO）或差動轉單端（Differential to Common-mode, DICO）功能於單一濾波器中。其中，合理的機械耦合樑設計有助於元件獲得窄頻濾波通帶，而差動式操作的使用可有效改善響應之拒帶衰減（Stopband Rejection）。結果顯示CMOS-MEMS濾波器之工作頻率座落於8.6MHzI其拒帶衰減大於20dB，並且實現約35kHz之濾波通帶（0.41%Bandwidth）。
延伸閱讀
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