微型多軸振動感測器之開發

葉哲愷 ； 郭秦輔 ； 蘇中源 ； 蕭价伶 ； 劉良潁

《微系統暨奈米科技協會會刊》 44期 (2021/01) Pp. 29-37

摘要

全球智慧製造潮流已成為各產業轉型目標，加上今年受疫情影響更加速自動化工廠發展。其中，工業感測器為實現智慧製造之關鍵組件，透過感測器將製造狀態予以量化，並結合聯網通訊及巨資分析處理，實現智慧製造。在所需感測器中，振動感測器為其中重要感測器之一，但目前符合國產設備所需之振動感測器，其感測核心皆受國外所限制，因此國內需建立自主開發感測器及系統整合能量，以擺脫感測器受制於國外的窘境，創造差異化與提升附加價值，鞏固製造業及高端產品生產之高良率與高效能。本文將說明目前工研院智慧微系統科技中心，針對國內工具機與相關零組件業者，所開發之工業用微型多軸振動感測器其相關設計、製作與測試結果，由最後結果可發現本研究所開發之微型多軸振動感測器具有高效能與低成本之特性，符合國產設備所需。