廠務設備能源轉換係數之建立及其於節能之應用:以中小尺寸面板廠為研究標的

Eastablishing the Energy Conversion Factors ( ECFs) of fab facility system and their applications in energy conservation: focusing on a small/medium-size display panel fab

徐榮生(Jung-Sheng Hsu)

指導教授 ： 施陽正

共同指導教授 ： 胡石政

國立臺北科技大學/機電學院/能源與冷凍空調工程系碩士班/碩士(2014年)

摘要

長久以來能源轉換係數沒有詳細而清楚的計算範圍例。以致各廠的數值差異頗大。針對中小尺寸面板廠，本論文對廠務耗電量前六大之廠務系統，以實際每日設備運轉RAW DATA進行計算及分析，建立此等設備之能源轉換係數ECF (Energy Conversion Factor)，前六大用電設備如下﹕Chiller、CDA、FFU、MAU、PCW、Exhaust。所有計算過程皆用表列展示，希望能對ECF有一致性的標準計算方法。利用所建立的ECF，本研究亦針對一中小尺寸面板廠以六個可行之節能方案作評估。本研究顯示結合ECF及Fab Energy Simulation(FES)軟體的優點，即將欲評估節能的廠內各能源轉換係數經詳細計算並輸入FES軟體中，可針對Fab欲改善的案列進行先期估算計算節能成效，對於閱讀者有很大之幫助。

關鍵字

能源轉換系數 ； 減少能源使用 ； 能源消耗管理 ； 潔淨室

並列摘要

This paper focuses on establishing energy conversion factor (ECF) for a small/medium-size display panel manufacturing industry fabs by analyzing the operating power consumption data of the largest six electricity-consumption facility equipment including Chiller, CDA, FFU, MAU, PCW and Exhaust. All detail calculations processes are listed in the table for reader's reference. Linking ECF and Fab Energy Simulation (FES) software, this study demonstrates it can be a powerful tool for the evaluation of various energy-saving approaches.

並列關鍵字

Energy Conversion Factor ； Energy Use Reduction ； energy consumption management ； cleanroom

參考文獻

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