12吋半導體晶圓廠房之能耗與能源消耗指標研究

Energy Consuption in a 12-inch Semiconductor Fab

駱文傑(Win-Jet Luo) ； 林照閔(Chao-Min Lin) ； 黃雍舜(Yung-Shuen Huang) ； 陳兆雄(Jauh-Shyong Chen)

《冷凍空調與能源科技雜誌》 67期 (2011/02) Pp. 31-39

https://doi.org/10.7087/JEHVACE.201102.0031

摘要

目前12吋半導體晶圓廠随著製程精密度的提高，對整體生產環境舆廠務供應需求也提高，如製程設備電力品質、潔淨室潔淨等級、製程排氯系统、製程冷卻水系统、純水系统、製程氣體系统、化學品供應．．．等之要求也相對嚴格，製程精密度提高所反映出来的運轉成本也相對提高。随製程技術提升，半導體廠房愈建愈大，本研究利用中部某半導體晶圓廠轉数據，希望建立一個典型12吋半導體晶圓廠的各項能源消耗指標，作為各半導體廠對應比較之基準，提供给相關產業在設計新建廠房或者生產運轉上相當重要的參考數據。

關鍵字

高科技 ； 廠務系统 ； 潔净室 ； 能源消耗