LCOS微顯示器之TFT薄膜元件的電性

The electric properties of TFT film device on LCOS-LCDs

孫培峰(Pei-Feng SUN)

指導教授 ： 黃振球教授

元智大學/工程學院/化學工程與材料科學學系/碩士(2002年)

摘要

摘要
IC產業和液晶顯示器(TFT-LCD)對其商品的精細化與量產化許久，其工作領域各在矽晶圓底材和石英玻璃基材上各自為政已數十年之久，但將這兩種基材一起運用並實現微顯示器LCoS(liquid crystal on silicon)的製造卻是近幾年的發展，這種微精細的顯示器是未來產業的願景，短、小、輕、薄及攜帶方便更是商品化之利器。
LCoS製程將對微型顯示器的未來發展帶來很大的衝擊，讓使用者得以享受更高解析度的投影設備 。LCoS製程將是唯一的微型顯示器製造技術，此技術能滿足顯示器的多樣性、變化性的應用需求。「在過去十年間，多媒體投影機市場的急遽成長為微型顯示器帶來每年超過十億美金的銷售金額。」 市場研究評論 「往後的五年，以微型顯示器技術發展的背投、大輸出格式數位電視與桌上型顯示器，將成為微型顯示器投影機市場的高速成長主流，使用在數位攝影機的觀景視窗、頭盔式顯示器以及可上網的個人顯示微型顯示器的應用產品，到公元2005年將會成長至15億美金，將成為微型顯示器全部56億美金市場最重要的部分。
本論文主要探討LCoS微顯示器內CMOS元件薄膜閘極之特性及電性之研究。閘極氧化絕緣層(Oxide)和多晶矽半導體層(Poly)，是影響閘極開與關及快與慢的品質因素，現行半導體業不外乎使用CVD(化學氣相沉積)或是高溫氧化製程來取得所需功能之薄膜。如何在功能性與品質性能上取得平衡是很重要的，因此針對不同反應方式所形成之薄膜進行特性探討及電性研究，另外薄膜之可靠度亦是良率品質上之需求。 最後將所探討的薄膜運用到壕溝式MOS元件的產品上, 做產品電性探討。

關鍵字

微顯示器 ； 電荷遷移性 ； 應力

並列摘要

The electric properties of TFT film device
on LCOS-LCDs
Student: Pei-Feng Sun Advisors: Dr. Jenn Chiu Hwang
Institute of Chemical Engineering
Yuan-Ze University
ABSTRACT
In order to understand basic knowledge of electric properties in LCOS’s TFT device 。The plan is：
First, physical characteristic for thermal stress application. Second, electric characteristic in IC proces short loop test
Third , split condition in Epi wafer IC process for detail WAT
(wafer analysis test) electric properties data.
This research purpose is optimal any process in production yield. LCOS mirco-display concern electric characteristic。Because of each gray scale only have 8 bit voltage range.It’s mean tighter tolerances in the voltage in any individual pixel experiences
The LCOS micro-display combine IC and LCD industry . Some technology need more experiment to get know how between the both.

並列關鍵字

micro-display ； mobility charge ； stress

參考文獻

films :/stresses and mechanical properties IV ，

11. Cammarata, R. C.，Warrendale, Pa.，Thin-

films :/stresses and mechanical properties VII ，

12. Coutts, T. J. ，Electrical conduction in

14. Gerberich, William W.，Pittsburgh, Pa.，