氦氣在大氣壓介質表面輝光放電下的電性研究

Characteristics of Atmospheric Pressure Surface Discharges in Helium Gas

黃政偉(Cheng-Wei Huang)

指導教授 ： 寇崇善

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2006年)

摘要

本實驗在高頻電壓與He氣流的操作範圍下，成功的建立了均勻的大氣壓介質表面輝光放電（ Atmospheric Pressure Surface Barrier Discharge，APSBD ），並且產生多脈衝輝光放電（ pseudo-glow discharge ）。經由改變實驗的參數（ 外加電壓的振幅與頻率、He氣流流速 ），分別對多脈衝輝光放電的電性與光譜進行量測與分析，進而了解APSBD 的物理性質與電漿性質。實驗中，成功將外加電壓值與平均放電功率關係推導出一條二次曲線Pav = A ( Vp-Vo )2，進而求得電漿密度（ 約為109 cm-3 ）。並且由光譜的診斷，求出APSBD的平均電子激發溫度（ 約為3000 ~ 3300 K ）。這兩點可以在不影響操作的前提下，量測APSBD的電性，同時可以掌握操作的情況，對於工業的應用上有很大的助益。

關鍵字

表面輝光放電

參考文獻

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