利用介質屏障放電產生紫外光之研究

Study of a Ultraviolet Source by Dielectric Barrier Discharges

鄭懷志(Cheng Huai Chih)

指導教授 ： 寇崇善

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2007年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2007.00089

摘要

介質屏障放電((Dielectric barrier discharges，DBD)可產生大量的streamer，能夠有效的激發產生準分子發出高強度的紫外光，可以用來製作各種不同波長的紫外光源。本實驗所填充的氣體為Xe，其結構為一同軸石英管，利用正弦波與負高壓脈衝兩種功率源來激發電漿。在不同的操作條件下(外加電壓的振幅與頻率、Xe的壓力)，分別量測與分析其放電特性、光譜(UV/VIS/NIR)、UV power，研究UV power與各操作條件之關係，並且計算產生紫外光的效率，在本實驗的操作範圍內產生紫外光的效率可達8%，以及量測臭氧的濃度，可以發現不同氣壓下產生紫外光的組成波長不同。

關鍵字

介質屏障放電 ； 紫外光 ； 準分子 ； 氙

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無資料

並列關鍵字

Dielectric Barrier Discharges ； Ultraviolet ； excimer ； Xe

參考文獻

[2] Ulrich Kkogelschatz, Plasma Chemistry and Plasma Processing, Vol.23, NO.1, 2003

[4] 黃政偉,國立清華大學物理系碩士論文(2006)

[10] Victor F. Tarasenko, Edward A. Sosnin, Proc. of SPIE Vol.6261 626136 (2006)

[16] 李安平,國立清華大學物理系博士論文(2006)

[18] NIST Atomic Spectra Database-home page http://physics.nist.gov/PhysRefData/ASD/index.html