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  • 學位論文

超臨界流體製程對鍺互補式金氧半鰭式電晶體電特性研究之影響

Supercritical Fluid Treatment on Electrical Characteristics in Ge CMOS FinFET

指導教授 : 張廖貴術
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Supercritical Fluid Treatment GeFinFET CMOS

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