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  • 學位論文

負電容鰭式場效電晶體在次5奈米厚之氧化鉿鋯下的特性與原子尺度分析

Characterization and atomic-level analysis of sub-5 nm-thick Hf0.5Zr0.5O2 for Negative Capacitance FinFET

指導教授 : 吳永俊
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參考文獻


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