摘 要 本實驗的目的是利用閘極電壓來控制DNA通過奈米孔的阻斷訊號。本實驗首先製作含閘極的奈米孔結構,除了基本的奈米孔外,另外還包含閘極結構。實驗的目的希望以閘極電壓來降低DNA通過奈米孔時的速度, DNA本身是一帶電分子,因此在閘極電壓作用下應該會受到影響,因而使DNA通過奈米孔時的速度改變,因此本實驗首先設計並製作出含閘極結構的奈米孔,並且利用閘極效應來控制DNA通過奈米孔所產生的阻斷訊號週期。若能使DNA通過奈米孔的速度有效的降低,阻斷訊號周期就能明顯的增加,對於DNA長度的分辨將大幅提升解析度,甚至能找出DNA中的鹼基A、T、C、G所產生電流訊號的不同,進而達到定序的目的。 晶片製作採用SOI晶圓,以光學微影、電子束微影、乾蝕刻、濕蝕刻、氧化、薄膜沉積等製程技術首先製作出含閘極結構的奈米孔晶片,並且將奈米孔直徑控制在10 nm以下,因此可得到明顯的阻斷訊號並且能以閘極電壓來控制阻斷訊號週期。在閘極電壓的影響之下除了DNA通過奈米孔的速度能有效被降低,通過時所阻斷的電流訊號也受到閘極電壓的影響,因此推測閘極電壓除了造成電位差改變,在閘極電壓的影響之下DNA本身移動路徑會改變,DNA表面所吸附的離子也會隨閘極電壓的增加而改變分布狀態。 由閘極電壓的改變造成奈米孔至外加偏壓電極端的電位差改變,以及DNA移動路徑改變和表面吸附離子分佈改變,我們建立了DNA在閘極電壓影響下的運動模型,並加上流體力學和電磁學定性解釋了阻斷電流、阻斷時間改變的原因。