以核反應法分析真空中水氣吸附之研究

Investigating Water Adsorption on Vacuum Surface by Nuclear Reaction Analysis

蘇宏銘(Hung-Ming Su)

指導教授 ： 陳俊榮

國立清華大學/原子科學院/生醫工程與環境科學系/碩士(2008年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2008.00104

摘要

摘要
利用1H(19F,αγ)16O核反應分析技術研究絕熱膨脹效應水氣吸附現象。實驗中遭逢的問題有二次電子影響離子電流量測與氣體阻擋本領造成能量損失而未達共振能量。本文設計離子束引出管和改變入射離子能量方法，研究測試改善的效果並進行分析比較。
離子電流量測時因二次電子干擾量測準確性，使用離子束引出管於實驗腔氣壓為10-6mbar環境下，藉由A段加-100V偏壓以避免管路上的二次電子撞擊樣品而被量測；B段加-120V即可有效抑制離子束撞擊樣品表面產生之二次電子，本實驗結果得到一個氟離子撞擊樣品表面約會產生16個二次電子。能量損失估計實驗，結果顯示實驗腔曝入氦氣0.26mbar和0.52mbar時，離子束能量損失分別為59.4keV與133keV，並藉由能量損失與氣壓模擬計算得到等效長度之比較，證實能量損失來自於氣體的阻擋本領。
本文最後使用氬氣直流輝光放電清洗藉以降低樣品背景值，結果顯示放電離子劑量累積至3.3×1019ion/cm2時，可降低樣品背景訊號達85%。絕熱膨脹效應實驗結果方面，證明曝入氣體(氦氣或氮氣)與水氣混合後，抽氣造成的絕熱膨脹效應會增加水氣吸附於樣品表面。

關鍵字

核反應分析法 ； 絕熱膨脹效應 ； 真空

參考文獻

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