電容式耦合電漿對於太陽電池效率提升之研究

Study of Improvement in Efficiency of Solar Cells treated by Capacitively Coupled Plasma

陳彥儒(Yen-Ju Chen)

指導教授 ： 寇崇善

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2009年)

摘要

近年來，環保意識的抬頭以及能源危機意識，使得全球積極研發使用潔淨之再生能源，來減輕傳統發電方式所產生之汙染問題。目前太陽能產業得已被重視，也成為未來能源趨勢。但是就目前太陽電池發展，成本仍然過高且光轉換效率並沒達到理論預期，使得太陽電池在全球普及率偏低。為了提升太陽電池轉換效率，本研究提出一種低能量連續電漿離子轟擊技術，藉由離子柨植改善太陽電池抗反射層表面特性，希望藉此提高太陽電池對於光的吸收量進而表現在光電轉換效率的提升。

關鍵字

電容式耦合電漿 ； 太陽電池

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Solar Cells ； Capacitively Coupled Plasma

參考文獻

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