矽脊形波導及環形共振腔之光學特性分析

Analysis on Characteristics of Silicon Rib Waveguide and Micro Ring Resonator

張引誠(Yin-Cheng Chang)

指導教授 ： 趙煦

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2009.00373

摘要

本篇論文主要針對脊形矽波導及環形共振腔建立一套標準測試流程，量測其相關參數及分析光學特性。
論文的第一部分將介紹試片的準備及標準測試流程，試片的準備包括切割、研磨與拋光、清洗試片以及鍍抗反射層；標準測試流程包括標準耦光步驟及找出測試系統中的擾動。
論文的第二部分將量測脊形矽波導之光學損耗，包括TE及TM兩種模態下的吸收、散射損耗以及彎曲損耗，其中將討論各種光學損耗的計算方法及結果
論文的第三部分說明環形共振腔的量測及討論，量測主要針對曲率半徑100m、與直線波導有著不同的間隙之環形共振腔，可得到功率耦合係數與其間隙之關係；另外量測此環形共振腔之溫度效應，即溫度變化時對環形共振腔共振波長之影響。最後比較環形共振腔在TE、TM兩種不同模態下的穿透頻譜及探討其光學特性，並討論未來改進的方向，以得到更可靠之分析結果。

關鍵字

矽波導 ； 環形共振腔 ； 光學特性

參考文獻

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