高溫及輻射效應對低能量離子佈植的縱深分佈影響研究

The influence of high-temperature and radiation effects on the implant depth profiles at low energy ion implantation

蔡文發(Wen-Fa Tsai)

指導教授 ： 開執中

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/博士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00404

摘要

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關鍵字

高溫離子佈植 ； 輻射引發偏析 ； 輻射增強擴散 ； 輻射效應 ； 點缺陷 ； 加速器 ； 離子佈植

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High-temperature ion implantatio ； Radiation induced segregation ； Radiation enhanced diffusion ； Radiation effects ； Point defects ； Accelerator ； Ion implantation

參考文獻

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