氧化鎂與奈米鑽石微晶複合薄膜在鐵鎳合金上之二次電子產生率的研究

戴信一(xin-yi Dai)

指導教授 ： 戴念華

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00635

摘要

摘要
氧化鋁薄膜、氧化鎂薄膜、鑽石薄膜被廣泛的應用在工業界和學
術的研究上，因為它們有不活潑、高穩定性、高電阻率的特性。
而它們可應用在二次電子放大管中，又因為它們都具有相對高的
二次電子放大係數，目前微結構技術的進步，dynodes 可做得非常細
緻，所以可做出性能佳的光電倍增器，dynodes 的形狀可經過微影、
蝕刻…等技術目前可做出不同形狀如三角錐狀(pyramid hole type)
和歪斜狀(slanting hole type)
的dynode，以讓電子擴大現象更明
顯。
基於奈米碳管顯示器的瓶頸，在於像素的亮度與發光源的均勻
性，所以假如把dynodes 置於在電子源跟螢光幕之間，讓二次電子
數目在多次撞擊 dynodes 後增加，而使分布範圍更為寬廣，因而讓
像素變的比較亮比較均勻。
本研究裝置一台二次電子放大係數量測系統，dynode(電子放大
極板)材料為鐵鎳合金，將待測物鍍在dynode 片上，然後在二次電
子放大係數量測系統做偵測，本研究的目的就是找出可以鍍在dynode
片上，又有不錯的二次電子放大係數的材料，目前實驗出氧化鋁薄
膜、氧化鎂薄膜、鑽石薄膜都有不錯的放大係數，而在表面層鍍上薄
層導體Al，有克服電荷累積提升二次電子放大係數的現象。

關鍵字

二次電子 ； 氧化鎂 ； 奈米鑽石微晶

參考文獻

1. L. Austin , and H. Starke , “Uber die reflexion der kathodenstrahlen

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