本文主要希望能在單模的矽通道波導與單模光纖之間,設計出一個能達到最高耦合效率的結構,即為nanotaper。本文中利用三維的時域有限差分法(3D-Finite Difference Time Domain)及光束傳播法(Beam Propagation Method)來進行結構上及模態的模擬。 一開始,先在nanotaper的結構參數(nanotaper的總長度、尖端開口寬度、曲線次方數及高度)中,選定欲進行優化的結構參數:開口寬度及曲線次方數,接著利用三維時域有限差分法來模擬光在nanotaper中傳輸的情形,並計算得到模態轉換損耗;使用光束傳播法來模擬出nanotaper中的光模態,進而計算此光模態與單模光纖模態之間的不匹配程度,而得到模態不匹配損耗;加總模態轉換損耗及模態不匹配損耗後,可得到總損耗。 而根據改變不同的nanotaper開口寬度及nanotaper曲線次方數,可分別找出這兩種結構參數與各種損耗之間的關係。在nanotaper中傳輸時,模態不匹配損耗主導總損耗的趨勢;而當光一旦進入空氣中時,則反而是模態轉換損耗成為影響總損耗的關鍵。在Nanotaper中時,當nanotaper曲線次方數為5、開口寬度為0.03μm,有最低的模態不匹配損耗;曲線次方數為8、開口寬度為0.09μm時有最低的總損耗。利用經過模擬並計算後做出的損耗與結構參數之間的關係圖,可快速的決定出最適合的結構之尺寸規格。