高分子薄膜表面聲波感測器應用於低濃度氣體量測

Polymer-Coated Surface Acoustic Wave Sensor for Low Concentration Gas Detection

李宜恬(Yi-Tian Li)

指導教授 ： 饒達仁

國立清華大學/工學院/奈米工程與微系統研究所/碩士(2011年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2011.00352

摘要

本研究以表面聲波原理為核心基礎，進行可攜式氣體污染源檢測之系統的研發，目標以微型化與高靈敏化，大大提升表面聲波感測器的精準度和可攜式的實現。其次結合多種奈米等級的化學感測薄膜，設計並合成具有高表面積/體積比以及特定化學活性的奈米孔洞高分子材料，可提高感測系統的靈敏度及選擇性，並希望於整合薄膜後，使氣體感測器具有可回復性與高靈敏度，以用於即時偵測之感測器。再者，加上感測系統的電訊號處理，亦將由電路設計與系統整合，進行低耗能與高精準度的感測電路開發，以完成可攜式電子鼻氣體感測器。目前研究進行中，已量測最低濃度為4ppm之氨氣，且化學薄膜的使用壽命可達至少半年。此感測器對於低濃度氣體量測亦能應用在其他工業安全與環境氣體偵測上，希冀此氣體感測可以更為廣泛地被大眾應用於日常生活。

關鍵字

表面聲波氣體感測器 ； 氨氣 ； 低濃度氣體 ； 高分子材料 ； 電子鼻

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無資料

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SAW gas sensor ； ammonia ； low concentration gas ； polymer films ； E-nose

參考文獻

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