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IP:3.129.247.196
  • 學位論文

以實驗規畫法優化高功率脈衝磁控濺鍍製備之釔安定二氧化鋯薄膜製程

Using Design of Experiment to Optimize Deposition Processing of YSZ Thin Films by High Power Impulse Magnetron Sputtering

指導教授 : 黃嘉宏 喻冀平

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