半導體拋光機台績效量測與診斷分析

Performance Measurement and Diagnostics Analysis for Semiconductor Polisher

李上吉

指導教授 ： 許棟樑

國立清華大學/工學院/工業工程與工程管理學系/碩士(2010年)

摘要

在半導體產業中其設備所佔製造成本比例極高，目前多數業者著重於維持機台設備的高利用率，本研究提出設備投入效率(OIE)為另一影響設備效率因素，建立工廠中拋光機台各機台參數理想值與設備投入與產出，訂定整體績效標準；制訂OEE、OIE整體參數設備投入效率與產出效率，開發智慧型設備績效管理及診斷系統，藉由標準值診斷參數是否正常或是異常，此外對於異常時有關參數進行了解，針對特殊參數進行診斷分析、以excel-based的計算軟體VB介面，並做出診斷。提昇設備使用效率及建立產業設備投入績效標準。

關鍵字

拋光機台 ； 整體設備效率 ； 整體投入效率 ； 總體設備效率 ； 績效管理 ； 診斷分析

參考文獻

洪福益(2007)，「台灣矽晶圓在生產業之經營與發展研究」，清華大學高階經營管理碩士在職專班碩士論文，新竹市。

羅緯(2010)，「拋光機台投入效率標準制定」，清華大學工業工程與工程管理學系碩士論文，新竹市。

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