拋光機台投入效率標準制定

Establishment of Polisher Input Efficiency Standards

羅緯

指導教授 ： 許棟樑

國立清華大學/工學院/工業工程與工程管理學系/碩士(2010年)

摘要

本研究針對拋光機的理想投入量制定其標準值，目的在於希望能夠測量設備的使用效率，而在投入面中，可將投入分為原材料、人力、廠務，以及耗材。我們對於拋光機的投入項目做分析並建立其理想之最小投入標準值，此標準將可被應用在量測拋光機之設備總體投入效率(OIE)，配合綜合設備效率(OEE)使用後更將可計算出機台之設備總體效率(TEE)。
人力投入效率方面，對於一機一線及多機一線的設備，我們建立一般性的模式以求得技術員之理想投入量。針對拋光機做研究後，發現其人力投入效率將有可能提升為兩倍。
研磨液投入方面，本研究成功的使用田口方法，以一個反向的方式，找出研磨液之最佳投入值並同時滿足設備之目標產出量。本研究同時也對於其他投入項目，建立每單位晶圓之理想投入標準值。本研究使用的方法也將可應用在其他不同類型的設備機台，例如當完整的物理或化學公式為未知時，以理論方式計算其理想投入量是非常困難的，此時即可應用本研究的方法加以研究之。

關鍵字

設備總體投入效率 ； 化學機械研磨製程 ； 人機配置 ； 田口方法 ； 逐步迴歸法

並列摘要

無資料

並列關鍵字

Overall Input Efficiency ； Chemical Mechanical Polishing ； Operator-Machine Configuration ； Taguchi Method ； Stepwise Regression

參考文獻

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