利用濕蝕刻製作埋藏式電極之太陽能電池研究

Study of Buried-Contact Solar Cell by Wet Etching

戴君涵(Chung-Han Dai)

指導教授 ： 王立康

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2010年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2010.00252

摘要

摘要

在近15年來，太陽能電池的效率與製程的技術不斷的改善，其中最受注目的就是BCSC(Buried-contact Solar Cell)，而其結構相較於一般商業印刷太陽能電池效率來的高，BCSC結構最大的特徵就是在電極處是深孔洞，此結構改善了電流與電壓的輸出，也改善串聯電阻效應和載子收集的能力。
由於BCSC結構設計的本意就是減少電極在元件表面的遮光面積，但在減少電極遮光面積的同時，半導體與金屬之間的接觸阻值也會隨著接觸面積的減少而提升，但在BCSC的結構裡，電極深埋在元件裡，因此可以改善半導體與金屬之間的阻抗問題，所以認為BCSC既可以減少遮蔽率以提升電流密度也可改善阻抗的問題。當太陽光照在太陽能電池上時，在太陽能電池內部會產生電子電洞對因而產生光電流，若載子到達電極的距離越長，則載子被復合機率越大因而降低太陽能電池的效率，但因深孔洞電極結構可將收集電子電洞的距離縮短，而在太陽能電池深處的電子電洞對被收集的機率變大，在電子電洞還未結合時被金屬電極接收，因而增加效率。
參考各類的期刊文章，一般實驗室皆是由雷射切割或機械切割來製做埋藏的深孔洞，但其有相對的缺點，例如:表面的汙染，硬力的問題和深寬比的控制，故本實驗室想出用濕式蝕刻的製作手法，在經濟成本的考量下，濕蝕刻既可以降低成本也可以節省製程的時間。

關鍵字

濕蝕刻 ； 埋藏式電極

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wet etching ； buried contact

參考文獻

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