生物感測器為一結合生物分子及轉能器的感測裝置,可應用於許多領域,例如:醫藥、生物科技及食品工業等方面。在生物感測器的製作上,如何從各式各樣不同的材料中選擇出適合的材料並且利用簡單的量測方式進行感測是相當重要的。本實驗主要研究即為利用可大面積製成及價格較貴金屬便宜的矽奈米線陣列製成感測表面電容值變化的生物感測器並用來偵測biotin-avidin及DNA序列。感測原理則是運用MOS電容結構中氧化層的電容值變化來進行量測。從實驗的結果可以發現所製備的矽奈米線陣列生物感測器在不同avidin濃度下會有不一樣的電容值變化,並且隨著avidin濃度的下降,電容值的上升幅度也隨之下降。在DNA序列的感測部分則是以總數同為八個鹼基對的三種不同序列DNA,八個A-T對、兩個C-G對六個A-T對及四個C-G對四個A-T對的序列進行感測,由於兩個不同的鹼基對中所含氫鍵數不同,導致電容值的上升量會因為C-G對的數目增加而有減少的趨勢。