本論文主要為微型發電機之設計與實作,研究中提出機械能式微發電系統中之電磁感應式微型發電機,並提出其相關之理論數學模型,利用此模型,分析懸臂樑形式發電機的動態與頻率響應特性。結果顯示本研究所提出的第二型彈簧之微發電機在1g加速度下,自然共振頻率為3222 Hz,振幅為26 μm。此外,也提出一磁鐵擺設方式,利用軟體模擬磁場變化,並利用這兩種模擬結果,預估會有約0.4微瓦等級能量之輸出。本論文亦利用一般微機電製程,利用單晶圓完成微發電機之製作,達成有效減少晶片面積並可省去接合製程之訴求。而在量測上,四型彈簧自然共振頻分別為3180 Hz、3387.5 Hz、2700 Hz與724 Hz,在0.0015m/s2加速度下,振幅分別為1.7 nm、3.1 nm、2.38 nm以及13.3nm,與理論值誤差在可接受範圍內。