以光學曲率量測系統研究水氣於聚亞醯胺膜中之行為

Research of the Behavior of Water Vapor in Polyimide Films by Optical Curvature Measurement System

呂晉賢(Chin-Hsien Lu)

指導教授 ： 蔡哲正

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2008年)

摘要

以高分子單體聚合成鍊而形成之高分子材料已被廣泛的利用；而在科技工業上，高分子材料也佔有一席之地。聚亞醯胺(Polyimide)，可使用之溫度範圍極廣，具高耐磨特性，使它成為一種可撓式基材的明星材料；而其光敏感性也使它成為一種光阻材料。然而它具有的吸水性質，也讓空氣中濕度大小在它的使用性上令人擔心。本實驗以光學曲率量測方法量測矽載板鍍上聚亞醯胺膜、在不同相對濕度和不同溫度的影響下、之曲率值的變化。我們先以相同溫度，相對濕度的週期性變化得知聚亞醯胺的吸水行為不因濕度的變化的次數而遞增或衰減；接著比較不同溫度吸水行為在曲率的變化我們無法觀察出顯著的變化，推測原因為溫度差異太小，以致結果不甚明顯；同時我們以傳統之重量量測得到之結果亦為如此。然而，從此差異不大之結果，我們觀察到會影響吸水熱力學行為之因素為相對濕度而不是分壓，並提出以化學自由能理論為基礎之熱力學導證。最後，我們觀察水氣在厚度較厚聚亞醯胺膜於不同溫度下的擴散反應，而得到擴散係數項對溫度的關係，可以Arrhenius方程式描述，得到此擴散行為之活化能，為7.28kcal/mol。然而較高溫因為應力疏散行為較為顯著，而使得原本因為吸水而彎曲之試片往應力為零之平整試片變化而影響了整個量測值，若分析低溫的擴散行為，則活化能為5.54kcal/mol，其與文獻中之值較為相近。

關鍵字

聚亞醯胺 ； 水氣 ； 光學曲率量測

並列摘要

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並列關鍵字

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參考文獻

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