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學位論文
以系統廠流程開發雷射干涉微影曝光機
A Development of LIL Exposure Machine by Using ODM Process
林湟明(HUANG-MING LIN)
指導教授 :
傅建中
國立清華大學/工學院/奈米工程與微系統研究所/碩士(2012年)
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雷射直寫系統製作繞射光學元件之研究
〔碩士論文,國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-1409201212142400
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雷射掃瞄共焦光學顯微鏡結合平台與振鏡系統之程式自動化校準影像程序
〔碩士論文,國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0030-0705201811572368
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