- 學位論文
三氯氧磷退火處理原子層沉積二氧化矽於碳化矽金氧半場效電晶體之可靠度研究
Study on the Reliability of POCl3 Annealed ALD SiO2 for 4H-SiC MOSFETs
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無資料延伸閱讀
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