- 學位論文
「前瞻性的碳化矽半導體」長晶製程之自動化與智能化檢測
Automated and Intelligent Inspection of "Prospective Silicon Carbide Semiconductor" in Crystal Growth Process
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延伸閱讀
- 卓妤庭（2021）。統計穩健之自動化缺陷檢驗機制-應用於碳化矽半導體晶片〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2412202116191889
- 游邦彥（2007）。半導體製造業創新發明原則與矛盾矩陣雛型建立－以化學機械研磨為例〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6843/NTHU.2007.00431
- 李大青、張妤敬（2021）。碳化矽半導體材料發展及未來應用。光連：光電產業與技術情報，(159)，102-105。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=16822862-202103-202104070010-202104070010-102-105
- 鄧旭軒（2008）。Fabrication of P type and N type Hydrogenated Microcrystalline Silicon Thin Films Using RF Magnetron Sputtering〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0207200917354825
- 戴敬耘（2021）。Study on Mechanical Chemical Grinding of Single Crystal Silicon Carbide〔碩士論文，淡江大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0002-0808202123085400