本研究主要目標為討論市面上之微機電氣體流量計,依照其基本運作原理,建立簡化之流場模型,並針對為該流場進行分析。利用GAMBIT 2.4建立模型及網格,並利用ANSYS 13.0之FLUENT進行模擬計算。此流量計模型利用主流道之「壓降元件」使上下游之間產生明顯壓降,成為足以推動流體進入「旁通流道」之壓差,旁通流道之進出口內設有多孔板以整流並控制流量。此微小流量於旁通流道中,經過本流量計之核心「晶片感測區流道」,該處流道為微米尺度,故可以層流模型進行計算。其晶片中央為一發熱線路區,兩側各有一組感測線路區,流體靜止時,兩感測區之溫度相同;而當流體流動,因兩者分別位於熱源上下游,而產生溫度差異,可由此溫度差異與變化趨勢,建立流量與溫差之關係。本研究包含兩類主流道壓降元件,其中一種設計於主流道中央設置一片多孔板,另一種則設置收縮通道(orifice)。分析多孔板結構時,將多孔板以等效壓降取代;分析收縮通道時則直接採實際之幾何外型進行模擬計算。整理各個條件下之主流道流速、旁通流比率與溫度變化之關係,可推得流量計之輸入流量與晶片溫度差異之間的關係,藉此建立量測依據,並比較各範圍下晶片感測之靈敏度。