目前高效率矽晶太陽能電池發展中,背電極矽晶太陽能電池效率可達24.2%,可說是目前商業矽晶太陽能電池中相當有前景的一項。要達到高效率矽晶太陽能電池,必須兼顧各項影響能量轉換效率的因素。其中,由於背電極設計免除了正面的電極遮蔽,使得短路電流( short-circuit Current ,Jsc ) 遠高於傳統矽晶太陽能電池,在開路電壓部分(open-circuit Voltage ,Voc ),則需要較佳的表面鈍化、矽基材本身品質的要求,以及製程間的清潔度。影響填充因子的因素則包含了串聯電阻 ( series resistance , Rs )與並聯電阻 ( shunt resistance , Rsh ),在我們的背點電極設計中,電極被縮小至數微米,使得電流的輸出受阻,因此增加串聯電阻。因此我們會設計一量測接觸電阻 ( Contact resistance )的方式,來探討如何降低接觸電阻,也就是降低串聯電阻。 本文旨在建立一背點電極矽晶太陽能電池的製作流程,並針對各式製程可能產生的問題作一改善。經由適當調整或變更製程,找出最理想的製程參數,以達到最高效率為目標作一努力。截至目前為止,最佳效率約有19.3%,雖然相較其他背電極矽晶太陽能電池仍不夠出色,但更重要的是能否找出問題所在,對未來高效矽晶太陽能電池的製作提出方向。