鐵酸鉍薄膜之光化學效應研究

陳叔妤

指導教授 ： 胡塵滌

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2014年)

摘要

本實驗研究照光輔助烘烤對溶膠-凝膠法(sol-gel)鍍製之鐵酸鉍薄膜的光化學效應。實驗分為兩部分，第一部分，BFO及B*FO(多補償5mol% Bi)薄膜分別於100℃下施加三種光源(Hal，UVA，UVC)照光輔助烘烤10分鐘；第二部分，基於溶液的吸收限界隨溫度上升會產生紅移現象，設計實驗將BFO薄膜分別於100℃ 和150℃ 兩種溫度下以三種光源照光輔助烘烤10分鐘。探討不同光源與烘烤溫度對薄膜結晶性、表面形貌及電性的影響，討論其可能的機制。
FTIR分析結果，發現Bi溶液對鐵酸鉍薄膜照光輔助烘烤時的吸光行為比Fe溶液有較大的影響，此現象將改變BFO薄膜照光輔助烘烤後的特性，推測Bi溶液的吸光特性扮演關鍵角色。
FTIR結果，UVC照光輔助烘烤確實可加速薄膜的有機物與氮化物分解、揮發的速率；拉曼光譜分析，發現UVC照光輔助的薄膜在焦化處理後，有助於鉍-氧(Bi-O)鍵結的形成，具有抑制高溫鉍揮發的效果，使薄膜在不另補償鉍的情況下即可維持化學計量比(Bi與Fe比例接近為1：1)，因此以UVC照光輔助烘烤將可改善薄膜的結晶性及表面形貌，進而提升電性。溫度效應(溶液吸收限界的紅移現象)，使UVA對BFO-B薄膜的作用變的有效且顯著，薄膜的特性表現也有所改善。
依據各項分析結果與參考相關文獻，推測BFO薄膜特性受光影響之主要原因，為溶膠―凝膠鍍膜製程中受紫外光光照產生光化學反應，促進有機物及氮化物分解與揮發，因此會影響薄膜結晶性、優選方向及表面形貌，進而影響電性表現。

關鍵字

鐵酸鉍 ； 鐵電薄膜 ； 旋鍍法

參考文獻

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