以液相沉積法研製氧化鋅奈米柱 於單晶矽基板之特性分析

Fabrication and Evaluation of ZnO nanorods on Si substrate by Liquid-phase Deposition

顏銘毅(Ming-Yi Yen)

指導教授 ： 溫武義

中原大學/工學院/電子工程研究所/碩士(2013年)

https://doi.org/10.6840/cycu201300816

摘要

本研究為利用水溶液合成法進行氧化鋅奈米結構製備於單晶矽(100)基板表面之特性研究，透過改變基板成長之配置位置、有無成長晶種層之比較、晶種層成長流程的改良等實驗，得出一此製程法成功製備高方向性氧化鋅奈米結構之條件。特別是在實驗過程獲得多種不同氧化鋅型態，具充分研究後，以穩定控制來達到晶格不匹配，但高方向性之氧化鋅/單晶矽(100)之結構的價值。更重要的是，本研究為首次為研究室引進之製程法，成本低且方法簡單，且不挑基板種類，相信在未來能讓本研究團隊往後研究路上有更多元的選擇。

關鍵字

氧化鋅奈米結構 ； 水溶液合成法 ； 氧化鋅奈米柱 ； 液相沉積法

並列摘要

This study presents a ZnO nanostructures on Si(100) substrate by liquid phase deposition. We decide the substrate’s position in the beaker, with the seed layer or not, and improve the precesss of seed layer, to get a successful way to grow the ZnO nanostructures with high direction. And especially, we obtain several different kind of shape of ZnO nanostructures, some of them have the value of study more to get high arrangement ZnO nanostructures by control steadily. More importantly, this study introduction this fabrication into our lab, with low cost, simple, and suit much kinds of substrates. We believe that this study and the successful way of grow high arrangement ZnO nanostructures can improve our lab for multiplex research.

並列關鍵字

aqueous solution ； ZnO nanorods ； liquid phase deposition ； ZnO nanostructures

參考文獻

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