- 學位論文
運用乾式轉印法製作二維材料元件
Dry transfer of two-dimensional materials for device fabrication.
若您是本文的作者，可授權文章由華藝線上圖書館中協助推廣。
摘要
傳統的二維材料轉印中分為濕式轉印以及乾式轉印，濕式轉印一般都會使用甲基丙烯酸甲酯(Polymethylemthacrylate；PMMA)作為轉印媒介，但此方式往往困擾於去除PMMA光阻聚合物時，光阻殘留液體影響到二維材料的電性以及鍵結等特性。而傳統乾式轉印法所使用的膠帶以及其聚合物也往往汙染樣品，且無法轉印置所需的區域。本文改以聚二甲基矽氧烷(Polydimethylsiloxane，PDMS)作為剝離與轉印二維材料的媒介，提供了全程從剝離與轉印，完全乾式的轉印形式。本文運用此技術應用於轉印石墨烯、拓樸絕緣體(Bi_2 Se_3)以及二硫化鉬(MoS_2)製作成場效電晶體元件，且製備石墨烯霍爾元件以及以氮化硼為基底的石墨烯場效電晶體，並以拉曼光譜檢驗樣品經轉印後仍保持與轉印前良好與相同的品質，並量測到Shubnikov-de Hass effect。
參考文獻
1. 莊鎮宇, 石墨烯簡介與熱裂解化學氣相合成
方法合成石墨烯的近期發展. 物理雙月刊, 2011/8/25: p. 155-163.
2. Novoselov, K.S., et al., Electric field effect in atomically thin carbon films. Science, 2004. 306(5696): p. 666-9.
3. Brey, L. and H.A. Fertig, Electronic states of graphene nanoribbons studied with the Dirac equation. Physical Review B, 2006. 73(23).
4. Castro Neto, A.H., et al., The electronic properties of graphene. Reviews of Modern Physics, 2009. 81(1): p. 109-162.
延伸閱讀
- 邱泓勳（2012）。滾輪式壓印技術製作大面積次微米圖案化藍寶石基板之研究〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu201200623
- 朱明輝（2006）。軟模低壓滾輪式轉印製程的研發與應用〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2006.00477
- 汪惠淇（2012）。以微模轉印法在D型光纖上製作高分子微透鏡〔碩士論文，國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-1306201218251500
- 簡榮宏、葉安祺、陳存仁（2005）。Organic Thin Film Transistor Materials and Devices。化學，63(2)，241-249。https://doi.org/10.6623/chem.2005019
- 洪堇莉（2018）。Investigation of Two-Dimensional Materials-Metal Interfaces and Improvement of Contact Resistance〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU201803346