DLC改善LED散熱及發光效率

Improvement of LED Heat Radiating and Brightness by DLC Film

鄭文凱(Wen-Kal Cheng)

指導教授 ： 莊為群

國立虎尾科技大學/電機資訊學院/光電與材料科技研究所在職專班/碩士(2012年)

摘要

本實驗利用垂直式LED(VLED)作為主要研究方向，垂直LED 也能加大晶片(電流)及減少亮度衰減，利用雷射剝離(Laser lift-off)製程可將昂貴的SiC基材收回再利用，在垂直式LED中加入DLC薄膜(diamond-like carbon films)，DLC薄膜介於半導體和金屬體的介面，不僅可避免軟銲造成製造良率問題，也能舒解兩種迴異材料之間的應力。除此之外，DLC 的熱傳導比銅快許多，因此以DLC 為介面，可加速移除LED 發光時產生的廢熱，而可能大幅延長使用壽命。

關鍵字

類鑚鍍膜 ； 雷射剝離

並列摘要

The purpose of this study is to apply vertical LED(VLED) structure to increase chip current and reduce brightness degradation. The costly SiC base material is recyclable in laser lift-off process by adding Diamond-like Carbon(DLC) films into VLED.The DLC films which lie in between semi-conductor and metal interfaces can improve bad soldering rate and release stress driven by two different materials.Besides, the DLC film is faster in heat conduction than cooper. Therefore,DLC interface can help accelerate to remove waste heat from LED lighting and extend its lifetime effectively

並列關鍵字

diamond-like carbon films ； laser lift-off

參考文獻

[1]黃瀞瑩，2006，”大氣電漿束對類鑽碳膜之表面處理與分析”，國立清華大學物理系碩士論文。

[4]黃瑞成，2007，” 利用射頻磁控濺鍍法成長類鑽碳膜於矽基板上以製備高頻氧化鋅薄膜之表面聲波元件” 大同大學光電工程研究所碩士論文。

[6]王柏人，2006，” 光子晶體氮化鎵發光二極體製作與分析”，國立清華大學電子工程研究所碩士論文。

[7]蔡慶忠，2007，” 具金屬基板之大面積垂直型GaN-基LEDs元件之表面結構設計及研製”，國立成功大學微電子工程學系碩士論文。

[2]游志成，2003，”以反應性濺鍍法沉積場發射類鑽碳於玻璃基板上之三極式元件”，大同大學光電工程研究所碩士論文。