以共振法及多組有限元素分析結果萃取微懸臂結構之機械性質

本研究結合多組有限元素分析與模態實驗結果，探討機電微結構之動態特性，藉由最佳化方法，取得結構之機械性質。透過模態實驗量測對稱微結構之模態振形與自然頻率，另一方面使用有限元素法，根據電子顯微鏡所量測之外形尺寸，針對對稱微結構進行有限元素分析。接著使用最佳化方法，以模態實驗所得之自然頻率與模態振形為基準，藉由有限元素軟體ANSYS進行最佳化程序，以非破壞性方式取得結構之楊氏係數、蒲松比、剪力模數等機械性質參數。反算效果方面，與測試結構相同之多組有限元素分析模型所反算獲得之機械性質較為準確。整體而言，本研究獲得一個相當良好的結果。