透過您的圖書館登入
IP:13.59.243.64
  • 會議論文

外差干涉術測量微小角度與微小位移變化

摘要


本研究提出外差干涉術藉著量測微小光平移來推算六角反射鏡的轉動角度變化。當一外差光束經過六角反射鏡反射後,反射光再經過半球透鏡中心,而後光線以接近且大於全反射臨界角入射到直角三菱鏡(SF11)之全反射裝置;因六角面鏡產生微小轉動,而產生外差光平移再射入半球透鏡,因半球透鏡偏折光束的關係,使得入射至三菱鏡的入射角度也相對地改變,進而使p-偏振及s-偏振之間的相位差會產生變化。將此相位差代入推導之關係式,即推得位移量,再反推六角反射鏡之微小角度變化。

延伸閱讀