摘要
傳統相移干涉式的顯微鏡在先天上無法準確量測非均質材料表面，故必須外加橢偏儀做量測校準。此一做法使得量測時的不準確度增加，且無法做到全域性的量測。本論文探討如何建立一套全新的多功光學顯微系統，以傳統低成本之光學顯微鏡爲基礎，在已開發完成之結合共焦顯微鏡與光子穿隧顯微鏡之多功顯微系統上，加上Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀架構，以達到精密量測非均質材料表面輪廓之目的。論文中並將探討全域性Mirau干涉式的顯微鏡與精偏儀之各種量測架構，以及如何結合創新相位重建技術－織錦式細胞自制演算法與精橢參數的校正於此一全新量測系統之各項步驟。最後並利用實驗來驗證此系統架構的可行性。
被引用紀錄
謝洹圳（2004）。發光二極體顯微干涉儀研製及在微輪廓檢測
之應用研究〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200400168
黃文孝（2003）。菲佐顯微干涉儀研製與應用〔碩士論文，中原大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6840/cycu200300482
黃念祖（2005）。生醫檢測用旋轉分析板雙偏極光波導干涉儀之設計與研製〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2005.00556
延伸閱讀
- 林豐禾（2015）。運用數位微鏡晶片發展全域彩色差動共焦量測系統〔碩士論文，國立臺灣大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6342/NTU.2015.10873
- 鄭力中、張家源、陳顯禎（2012）。基於空間時域聚焦的廣視域多光子顯微術於快速光學切片上應用。光學工程，(118)，33-40。https://doi.org/10.30011/OE.201206.0006
- 林岡志、楊志忠（1999）。八十七年度學生論文獎得獎者之二 以紫外光干涉製作光纖光柵及其在高靈敏溫度量測之應用。光學工程，(65)，8-11。https://doi.org/10.30011/OE.199903.0002
- 李健仲、陳永光、廖顯奎（1999）。八十七年度田家炳先生青年學術獎得獎簡介 被動多重腔架構之單縱模光纖雷射及其在視訊傳送上的應用。光學工程，(65)，23-25。https://doi.org/10.30011/OE.199903.0006
- 蕭瑋仁（2016）。合成孔徑數位全像顯微術最佳化超解析及其共光程螺旋相位濾波之研究〔碩士論文，國立臺灣師範大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6345/NTNU202204302