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學位論文
結合電化學放電與超音波振動研磨於石英玻璃方形微孔加工之研究
Fabrication of a Square Microhole in Quartz Glass by Electrochemical Discharge Machining and Ultrasonic Vibration Grinding
謝鎮羽(Zhen-Yu Xie)
指導教授 :
洪榮洲
逢甲大學/工程與科學學院/機械與電腦輔助工程學系/碩士(2020年)
https://doi.org/10.6341/fcu.M0705833
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超音波振動研磨加工
;
石英玻璃
;
電化學放電加工
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Ultrasonic Vibration Grinding
;
Electrochemical Discharge Machining
;
Quartz Glass
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湯喻翔、黃茂榕、林郁欣、蕭銘華(2013)。
感應耦合電漿反應性離子蝕刻於石英玻璃加工的技術與應用
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科儀新知
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淡江理工學刊
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