高溫超導量子干涉元件之製程與特性研究-使用回收雙晶基板

Fabrication and Characteristics of high-Tc Superconducting Quantum Interference Devices Using Recycled Bi-crystal Substrates

陳衍儒(Yen-Ru Chen)

指導教授 ： 王立民

國立臺灣大學/理學院/物理研究所/碩士(2016年)

https://doi.org/10.6342/NTU201610508

摘要

本研究探討雙晶式結構的超導量子干涉儀(SQUID)元件的製作方式，主要目的有兩個部分，第一部分為自行研磨拋光回收雙晶鈦酸鍶(SrTiO3)基板，第二部分是設計SQUID光罩圖案，利用雷射濺鍍系統將超導體釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-δ)成長於自行拋光回收的雙晶鈦酸鍶基板上，結合自行設計SQUID圖案，藉以製作出降低成本且品質良好的SQUID 元件。
由測量結果得知，自行研磨拋光的基板表面平整且無破壞晶格結構，可成長高品質的高溫超導薄膜於拋光基板上，配合SQUID圖案設計，量測出SQUID的特性曲線與雜訊頻譜分析，提供一個低成本製作SQUID元件的方法。

關鍵字

高溫超導 ； 釔鋇銅氧 ； 約瑟芬結 ； 量子穿隧元件

並列摘要

無資料

並列關鍵字

High temperature superconductor ； YBCO ； Josephson Junction ； Quantum tunneling device

參考文獻

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