摘要
本研究利用微機電製程技術（MicroElectroMechanical System, MEMS）：沉積、微影蝕刻技術製作熱電偶感測器。藉由直流射頻濺鍍機沉積銅與鏮銅金屬，於石墨上製作薄膜熱電偶溫度感測器（Thin Film Thermocouples, TFTCs）。探討石墨碳刷與銅盤於低荷載0.5N、1.0N、3.0N與高轉速1000rpm （v= 8.37 m/s）條件下的摩擦係數、磨耗率以及表面摩擦溫度的變化。薄膜熱電偶熱電動勢（Thermoelectric power）在250℃時量測分別為52.3μV/℃、59.2μV/℃與58.2μV/℃。滑移接觸過程，TFTCs針對真實接處面與閃點溫度量測。實驗量測數據，於低負荷條件下的摩擦係數都達到0.2以上；藉由電子顯微鏡（SEM）觀察滑移接觸後，碳刷表面形貌與磨耗機制。
延伸閱讀
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