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| 研究生： |
羅平 Lo, Ping |
|---|---|
| 論文名稱： |
飛秒雷射切割與聚晶鑽石輪刀研削之複合式製程技術應用於碳化矽晶粒分割研究 A hybrid process technology combining femtosecond laser cutting with PCD wheel-tool grinding for the study on die separation of silicon carbide |
| 指導教授： |
陳順同
Chen, Shun-Tong |
| 口試委員： |
趙崇禮
Zhao, Chong-Li 蔡俊毅 Caijun, Zun-Yi 張天立 Zhang, Tian-Li 鄭淳護 Zheng, Chun-Hu 陳順同 CHEN, Shun-Tong |
| 口試日期： | 2022/07/28 |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
機電工程學系 Department of Mechatronic Engineering |
| 論文出版年： | 2022 |
| 畢業學年度： | 110 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 169 |
| 研究方法: | 實驗設計法 |
| DOI URL： | http://doi.org/10.6345/NTNU202201375 |
| 論文種類： | 學術論文 |
| 相關次數： | 點閱：43 下載：0 |
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電子全文延後公開2026/08/01