探討TFT-LCD廠陣列 (Array) 製程之設施規劃-以T公司為例

The Layout Planning Problem of the Array Process at TFT-LCD Plant-The Case of T Company

呂蕙如(Hui-ju Lu)

指導教授 ： 胡黃德

元智大學/工程學院/工業工程與管理學系/碩士(2007年)

摘要

TFD-LCD廠的陣列(Array)製程計有閘極電極形成 (Gate Electrode, GE)、半導體電極形成 (Semiconductor Electrode, SE) 、源極電極形成 (Source Drain electrode, SD)、通道形成 (Contact Hold, CH)及畫素電極形成 (Pixel Electrode, PE)等五道光罩，且每道光罩都須經過成膜、微影、蝕刻、剝膜等製程，反覆5次才能形成薄膜電晶體玻璃基板。因於其製程不但複雜且具再迴流的特性，故使得工廠設施佈置的優劣更形重要。

原有的TFT-LCD廠陣列製程，係以「功能式佈置」來規劃生產線，但長期運作後卻發現其佈置有高頻率的交叉迴流現象，且物料搬送路徑十分不順暢。故為改善此狀況，擬針對現有佈置進行重新設計及排列。改善後設施規劃之績效指標，係以最小搬運動線為優先考量，故擬將此群組依製程循環加以串聯，並納入搬送理念進行重新規劃，由於其改善後的搬送路徑宛如阿拉伯數字「8」，故將其佈置方式稱為「8字型佈置」，再結合「群組式」佈置的理念，進而建構出「群組式+8字型佈置」方式。

基於以上的理由，本研究擬以T公司改善前之「功能式佈置」及改善後之「群組式+8字型佈置」進行分析，比較兩種佈置如何在相同廠房空間及機器設備的條件下，運用佈置重整有效的減少搬運距離、搬送機台及減少每批 (Lot) 搬運的週期時間 (Cycle Time) 及半成品 (WIP) 的存貨量。結果顯示：改善後的「群組式+8字型佈置」，可節省一台RGV搬送機台及每批搬運週期時間36秒，並有效降低0.008%的半成品存貨量。

關鍵字

TFT-LCD廠陣列製程 ； 「功能式佈置」 ； 「群組式+8字型之佈置」

並列摘要

The 5 major mask processes in TFT-LCD Array Manufacturing Process are Gate Electrode (GE)、Semiconductor Electrode (SE) 、Source Drain Electrode (SD)、 Contact Hold (CH) and Pixel Electrode (PE) processes which all repeat the sub-process of thin-film developing、photo transferring、etching and stripping process. Each of the ordinary flat glass panel must process through the sub-process for 5 times to fabricate the TFT-LCD Display Panel. The manufacturing process layout becomes a key point because of the increasing manufacturing complexity and the characteristic of manufacturing process re-flowing. The original TFT-LCD Array process was “Functional flow layout”, after a long-term operation it produced a great amount of overlapped process and the flows material turn un-smoothed. In order to improvement the circumstances, the manufacturing facility layout plan to re-design and re-arrange. To achieve the goal of minimum facility moving path, the similar working processes group together and re-annarge the path according to the dispatching rule. The outline of the new dispatching path is like an Arabic number “8” so name the method “8 Style Layout”. Furthermore, combining “8 Style Layout” with “Functional Group Layout” forms the “Group+8 Style Layout”. This research plan to analyze the difference between the former “Function layout” method with the improved“Group+8 Style Layout” method under the condition of same facility layout space and the same numbers of manufacturing machines in the T Company by computing the total facility dispatching distance、the numbers of moving equipments、the cycle time of each production lot and the quantities of the WIP. The result reveals that the “Group+8 Style Layout” could eliminate an RGV robot、reduce 36 seconds /lot of each production cycle time and decrease the 0.008% WIP Inventory .

並列關鍵字

TFT-LCD Array Process ； Function Layout ； Group+8 Style Layout.

參考文獻

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