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學位論文
光束平坦化裝置用於大面積雷射干涉微影系統之研究
Application of Laser Beam Shaping Device on Large Area Laser Interference Lithography System
吳裕翔(Wu, Yu Hsiang)
指導教授 :
傅建中
國立清華大學/工學院/奈米工程與微系統研究所/碩士(2015年)
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雷射干涉微影
;
均勻度
;
光束整形
;
高斯分布
;
平頂分布
;
薄膜干涉
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因申請專利緣故,資料延後公開
並列關鍵字
Laser interference lithography、
;
Uniformity
;
Beam shaping
;
Gaussian distribution
;
Flat top distribution
;
Thin film interference
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因申請專利緣故,資料延後公開
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延伸閱讀
廖家緯(2017)。
雷射掃描收發模組之光學系統研究
〔碩士論文,逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0225824
Chin, L. Y. (2015).
應用在雷射直寫微影的光學頭之研究
[doctoral dissertation, National Tsing Hua University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-1908201515565505
簡政尉(2007)。
雷射光干涉微影技術之建立及應用於光子能隙結構
〔博士論文,國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0207200917350165
蕭湧能(2015)。
Application of Refractive/Diffractive Beam Shaping for Line Beam Laser Processing and Addictive Manufacturing System
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0312201510245548
吳浩平(2013)。
Application of Refractive/Diffractive Hybrid Optical Element for Line Beam Laser Processing System
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2511201311313083
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