摘要 題目:以區域平均模式模擬乙炔電漿 本研究的目的是用電腦模擬的方式,使用的物理模型為區域平 均模式模型(Global Model),研究以純乙炔(C2H2)為工作氣體的 電漿源特性。幫助了解電漿中的化學現象,以及電漿系統操作參數的 變化對各電漿參數的影響。 探討的參數有:電漿密度、各粒子密度及電子溫度;所控制的 參數為電漿吸收功率、腔體壓力。而若所考慮的化學反應式越多,所 得到的結果就越精確。 本研究可分為三個部分。一開始為純氫氣氣體的電漿源模擬,用來確定所建立電腦程式的正確性;第二部分為純乙炔氣體的電漿源 模擬,探討各個操作參數對電漿參數的影響情形。第三部分會把前人 所做甲烷電漿的區域平均模式模擬的結果,來和本研究結果做比較。 關於乙炔電漿,目前尚無人做有關區域平均模式的模擬,本研究以乙炔電漿為對象,建立其區域平均模式模型,其中因為粒子平衡的要求,有刪掉幾項化學反應式,但主要的反應是都有考慮進去,結果有其一定的準確性。 藉由模擬所得到的電漿特性資料,可以彌補實做實驗上的不 足,再來也可以用模擬作為理論的基礎,進行實驗時可以當做調整電 漿系統操作等實驗製程參數的參考,進而加以改善。