摘要
摘要 題目：以區域平均模式模擬乙炔電漿 本研究的目的是用電腦模擬的方式，使用的物理模型為區域平 均模式模型（Global Model），研究以純乙炔（C2H2）為工作氣體的 電漿源特性。幫助了解電漿中的化學現象，以及電漿系統操作參數的 變化對各電漿參數的影響。 探討的參數有：電漿密度、各粒子密度及電子溫度；所控制的 參數為電漿吸收功率、腔體壓力。而若所考慮的化學反應式越多，所 得到的結果就越精確。 本研究可分為三個部分。一開始為純氫氣氣體的電漿源模擬，用來確定所建立電腦程式的正確性；第二部分為純乙炔氣體的電漿源 模擬，探討各個操作參數對電漿參數的影響情形。第三部分會把前人 所做甲烷電漿的區域平均模式模擬的結果，來和本研究結果做比較。 關於乙炔電漿，目前尚無人做有關區域平均模式的模擬，本研究以乙炔電漿為對象，建立其區域平均模式模型，其中因為粒子平衡的要求，有刪掉幾項化學反應式，但主要的反應是都有考慮進去，結果有其一定的準確性。 藉由模擬所得到的電漿特性資料，可以彌補實做實驗上的不 足，再來也可以用模擬作為理論的基礎，進行實驗時可以當做調整電 漿系統操作等實驗製程參數的參考，進而加以改善。
參考文獻
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延伸閱讀
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