高功率射頻放大器之研究

Development of high power radio frequency amplifier

吳霈承(Pei-Cheng Wu)

指導教授 ： 寇崇善

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2014年)

摘要

本研究之目的為建立一個簡單且穩定的可變頻功率源系統，以提供未來作電漿實驗之所需。論文介紹功率源系統的主要架構，在說明各部分的設計原理與實驗分析。實驗主要可分為三個部分，高頻固態功率放大器、功率計、功率控制系統。系統中的高頻固態功率放大器其操作頻率為1~30MHz，在輸入功率0dBm時，最大輸出功率可達300W，二次諧波比輸出功率小35dB，三次諧波比輸出功率小16.3 dB。功率計在操作頻率1~30MHz，最大量測功率300W下，量測精準度±3%。在整合高頻固態功率放大器和功率控制系統後，量測系統在大功率輸出的穩定性，輸出功率變化約為1%，並且量測電晶體在長時間輸出下溫度的變化，大約在70~77度之間。

關鍵字

射頻放大器 ； 功率計 ； 功率控制系統

參考文獻

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